高靈敏度光譜儀的透射率或效率可以通過(guò)輔助單色儀進(jìn)行測(cè)量，在可見光和近紫外光下實(shí)現(xiàn)這些測(cè)量沒(méi)有困難。測(cè)量需要知道單色儀的透射率：對(duì)于相對(duì)測(cè)量，可以以相對(duì)單位在各種波長(zhǎng)下測(cè)量透射率。這些測(cè)量存在很大的實(shí)驗(yàn)困難，因此通常使用輔助單色儀，在不同入射角下測(cè)量衍射光柵的效率。

　　高靈敏度光譜儀的分辨率是光譜分析儀的重要參數(shù)，光譜儀的分辨率直接影響儀器的性能。光譜儀的分辨率是指光譜儀的分辨率精度較低，即在測(cè)試時(shí)，我們可以知道光譜線的程度，那么影響光譜儀分辨率的主要因素是什么？
 

　　1.檢測(cè)器是光譜儀的核心部分，它直接確定光譜范圍，靈敏度，分辨率和信噪比。一般來(lái)說(shuō)，探測(cè)器的材料決定其光譜范圍，而探測(cè)器的工作原理，制造方法和摻雜材料則決定其靈敏度，范圍和信噪比。

　　2.光柵將從狹縫入射的光分散在空間中，使得光強(qiáng)度成為波長(zhǎng)的函數(shù)。它是光譜檢測(cè)的基礎(chǔ)，也是光譜儀的核心部分。對(duì)于給定的光學(xué)平臺(tái)和檢測(cè)器，我們可以通過(guò)選擇不同的光柵來(lái)控制光譜儀的光譜覆蓋范圍，光譜分辨率和雜散光水平。

　　3.高靈敏度光譜儀的分辨率和光通量直接受到入射狹縫的影響。光譜儀的檢測(cè)器終檢測(cè)到狹縫投射到檢測(cè)器上的圖像，因此，狹縫的大小直接影響光譜儀的分辨率?？p隙越小，分辨率越高，縫隙越大，分辨率越低。另外，狹縫是光進(jìn)入光譜儀的通道，其大小也直接影響光譜儀的光通量?？p隙越大，光通量越大，并且縫隙越小，光通量越小。