近紅外光譜儀采用全新的MEMS技術(shù),將光譜儀的光路刻在波導(dǎo)上,使產(chǎn)品在惡劣環(huán)境下也能保持良好的性能。同時,這種單芯片設(shè)計不僅可以保持平臺間差異,而且在大規(guī)模量產(chǎn)時也可以大大降低產(chǎn)品成本。采用線性CCD探測器,量子效率高;可編程增益放大和高速16位AD轉(zhuǎn)換具有很大的動態(tài)范圍。適用于光譜測量與分析、光譜反射率檢測、光譜透射率測量、光譜熒光檢測等多種光譜測量。其波段為紫外可見(200-850nm)或可見近紅外(400-1100nm),也可根據(jù)自身需要定制。常見的光源包括鹵鎢燈、發(fā)光二極管和激光二極管。
光譜系統(tǒng)是近紅外光譜儀的核心裝置,它的作用是將復(fù)合光轉(zhuǎn)化為單色光。主要光譜類型有濾光片、光柵、干涉儀和聲光可調(diào)濾光片,分別對應(yīng)濾光紅外光譜儀、色散紅外光譜儀、傅里葉變換紅外光譜儀和聲光濾光紅外光譜儀。
1、濾光式紅外光譜儀
濾光型紅外光譜儀使用干涉濾光片進行分光。通過在轉(zhuǎn)盤上固定不同的濾光片,可以測量樣品在多個波長的紅外光譜數(shù)據(jù)。目前過濾器技術(shù)的發(fā)展受到限制,目前的技術(shù)水平只能開發(fā)過濾器。
2、色散紅外光譜儀
色散紅外光譜儀又稱光柵掃描紅外光譜儀。它使用棱鏡或光柵作為分光。這種儀器的特點是全光譜掃描和高分辨率。
3、傅里葉變換紅外光譜儀
近紅外光譜儀光源發(fā)出的光被準直成平行光,以45°角入射到分束器上。一半的光被分束器反射并導(dǎo)向固定鏡m2,另一半光通過分束器導(dǎo)向移動鏡M1。射向定鏡和動鏡的光經(jīng)過反射后實際上會聚在一起。這時就變成了具有干涉光特性的相干光。當動鏡移動時,可以獲得不同光程差的干涉光強度。對于純單色光,在動鏡的連續(xù)運動中會得到強度不斷變化的余弦干涉波,因此探測器檢測到的是樣品的干涉圖,可以得到分析光中所有波長的信息每次。最后,將樣品經(jīng)過傅里葉變換后的干涉圖函數(shù)與空白光源強度頻率分布的比值即可得到樣品的紅外光譜。