光譜儀又稱分光儀。以光電倍增管在不同波長位置,測量譜線強(qiáng)度的裝置。其構(gòu)造由一個(gè)入射狹縫,一個(gè)色散系統(tǒng),一個(gè)成像系統(tǒng)和一個(gè)或多個(gè)出射狹縫組成。以色散元件將輻射源的電磁輻射分離出所需要的波長或波長區(qū)域,并在選定的波長上(或掃描某一波段)進(jìn)行強(qiáng)度測定。分為單色儀和多色儀兩種。
光譜儀一般都包括入射狹縫、準(zhǔn)直鏡、色散元件(光柵或棱鏡)、聚焦光學(xué)系統(tǒng)和探測器。
1.入射狹縫: 將入射的光學(xué)信號構(gòu)建成一個(gè)明確的物像;
2.準(zhǔn)直部分: 使光學(xué)信號的光線平行。該準(zhǔn)直器可以為透鏡、反射鏡、或色散元件的部分功能,如在凹面光柵光譜儀中的凹面光柵的部分功能;
3.色散部分: 通常采用光柵,在空間上進(jìn)將平行光行色散;
4.聚焦部分: 收集色散的光學(xué)信號,使得大部分入射狹縫的單色影像聚焦于焦平面;
5.陣列檢測器: 放置于焦平面,從而檢測大部分單色影像的光強(qiáng)度。該檢測器可以是CCD陣列或其它的光檢測陣列。