半導(dǎo)體工業(yè)中，我們通過光刻技術(shù)制造和控制晶圓。其中蝕刻是該過程的主要環(huán)節(jié)，當(dāng)在晶圓表面蝕刻時(shí)，可使用等離子體監(jiān)測(cè)跟蹤蝕刻穿過晶圓層，并確定等離子體何時(shí)*蝕刻特定層并到達(dá)下一層。通過監(jiān)測(cè)在蝕刻期間由等離子體產(chǎn)生的發(fā)射線，可精確追蹤蝕刻過程。

實(shí)驗(yàn)原理

等離子體監(jiān)測(cè)可為樣品提供詳細(xì)元素分析，并確定在控制基于等離子體的過程中所需的關(guān)鍵等離子體參數(shù)。等離子體發(fā)射特征譜線可用于識(shí)別存在的元素，強(qiáng)度可用于實(shí)時(shí)量化粒子和電子密度。圖1為空氣300-550nm光譜曲線圖，在該波段內(nèi)，N的特征譜線有1、2、3、5、7、13；O的特征譜線有4、11；Xe的特征譜線有6、8、9、10。

圖1.空氣300-550nm光譜曲線圖

氣體混合物、等離子體溫度和顆粒密度等參數(shù)對(duì)控制等離子體過程都是至關(guān)重要的。通過向腔室引入各種氣體或顆粒來改變這些參數(shù)，將會(huì)造成等離子體特性的改變，同時(shí)也會(huì)影響等離子體與基板的相互作用。監(jiān)測(cè)和控制等離子體可改善工藝和成品。

在其他氣體被引入到等離子體腔室時(shí)，采用UV-VIS配置的Ocean HDX光譜儀、QP400系列抗老化光纖、CC-3余弦校正器進(jìn)行采樣。選擇抗老化光纖是為避免由等離子體的強(qiáng)UV光引起的光纖內(nèi)涂層降解。選擇余弦校正器CC-3從等離子腔室獲取數(shù)據(jù)可解決等離子體強(qiáng)度的差異和測(cè)量窗口的不均勻結(jié)構(gòu)（74UV準(zhǔn)直透鏡也可作為等離子體監(jiān)測(cè)測(cè)量中余弦校正器的常用備選方案)。

圖2. 光纖光譜儀測(cè)真空室中等離子體的配置簡(jiǎn)圖

實(shí)驗(yàn)結(jié)論

圖3. 光纖光譜儀測(cè)量氬等離子體的發(fā)射光譜

通過等離子體腔室窗口測(cè)量的氬等離子體的光譜如圖3所示。位于690-900nm的強(qiáng)光譜線是中性氬（Ar I）的發(fā)射線，位于400-650nm的較低強(qiáng)度線是單電離的氬原子（Ar II）的發(fā)射線。圖3中所示的發(fā)射光譜是針對(duì)等離子體發(fā)射測(cè)量的豐富光譜數(shù)據(jù)的一個(gè)很好的示例。

圖4. 向氬等離子體中添加氫氣會(huì)改變其光譜特性

氫氣是可添加到氬等離子體中以改變等離子體性質(zhì)的二次氣體。在圖4中，添加氫氣后，在700-900 nm之間氬線的強(qiáng)度明顯降低。這證明了光纖光譜儀可實(shí)時(shí)測(cè)量等離子體發(fā)射光譜，以用于監(jiān)測(cè)二次氣體對(duì)等離子體特性的影響能力。觀察到的光譜變化可用于確保將最佳量的二次氣體添加到腔室中以得到所期望的等離子體特性。

參考文獻(xiàn)

[1]龔漢東. 等離子體刻蝕中有害氣體凈化機(jī)理的研究及其應(yīng)用[D]. 華南理工大學(xué), 2002.